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直拉硅单晶抛光片

来源:     作者:46所站点管理员     发布时间:2023年11月20日     浏览次数:         

  直拉硅单晶材料是支撑微电子技术的基石材料,在集成电路和分立器件领域有着广泛的应用,中国电科46所研制出了中国第一颗硅单晶,多年来聚焦MEMS、异质外延衬底用特种硅单晶材料等国内薄弱领域,取得了多项技术突破,产品具有几何精度高、表面质量好、产品稳定性高等特点。

  

  

  

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